[반도체 공정] 박막 증착(Deposition) (1)
박막은 얇은 막을 뜻하는 데요. 기본적으로 박막증착이란 얇은 막을 쌓아 올린다고 생각하시면 됩니다. 마치 햄버거나 샌드위치를 만들기 위해서 빵 위에 양상추, 패티, 소스, 베이컨 등등을 올리는 것과 비슷합니다. (여기서 햄버거, 샌드위치 = 완성된 Device, 재료들: 박막) *박막의 제조방법박막의 제조방법으로는 크게 세 가지가 있습니다.첫 번째로 화학 기상 증착(CVD, chemical vapor deposition), 두 번째로 물리기상 증착(PVD, physical vapor deposition), 세 번째로 원자 층 박막증착(ALD, atomic layer depositon)이 있습니다. *CVD 공정먼저 CVD 공정부터 설명해 드리겠습니다.CVD 공정은 아까 말씀드렸듯이 chemical vap..
2019. 12. 11.