반응형 플라즈마 공정1 [반도체 공정] 플라즈마 쉬스(Plasma Sheath)란? 반도체를 공부하시는 분 또는 플라즈마를 공부하시는 분이라면 Sheath(쉬쓰)에 대해 한 번쯤은 들어보셨을 것이라 생각합니다. 이번 포스팅에서는 Sheath(쉬쓰)에 대해 알아보도록 하겠습니다. 천천히 아주 쉽게 설명해 드릴테니 끝까지 읽어주세요. *Sheath란? Sheath란 플라즈마와 어떤 물체의 표면 사이의 영역을 말합니다. 여기서 어떤 물체의 표면이라고 하면 너무 추상적이니, 반도체 공정을 예로 들어 설명드리면 '챔버 벽면'과 '전극'의 표면이라고 생각하시면 될 것 같습니다. 이렇게 설명 드려도 확 와닿지 않으실 거에요. 저도 그랬으니까요. 실제 플라즈마 공정이 일어나는 챔버 안을 자세히 들여다 보면, 플라즈마 Bulk(플라즈마가 일어나는 덩어리라고 생각하시면 편해요)와 챔버 벽면, 전극사이에 .. 2020. 3. 8. 이전 1 다음 반응형
