반응형 EUV1 [반도체 공정] 포토 공정(Photolithography 1) *포토리소그래피(photolithography)란? Photo(빛) + lithography(석판 인쇄)의 뜻으로 돌 판에 빛을 이용하여 인쇄한다는 뜻입니다. 다시 말해, 기판 위에 패터닝을 한다는 의미죠. 제가 처음 패터닝(patterning)이라는 말을 들었을 때 그 뜻이 크게 와 닿지 않았습니다. 그래서 뜻을 찾아보니 이해가 빨리 되었죠. Pattern은 ‘무늬’, ‘모양’이라는 뜻 외에도 동사로 쓰여 ‘~에 무늬를 넣다’라는 뜻도 있습니다. 반도체에서 말하는 무늬는 ‘회로’를 의미하죠. *그래서? 포토 공정은 보통 박막 증착 공정 후에 진행됩니다. 예를 들어 MOSFET의 GATE를 만든다고 해봅시다. 다들 잘 아시다시피 기판 위에 산화막을 증착시켜야 합니다. 그 이유를 다시 한번 생각해보면, G.. 2019. 12. 23. 이전 1 다음 반응형
