반응형 PECVD 메커니즘1 [반도체 공정] PECVD 공정(deposition) (2) CVD 공정 중에서도 실제 많이 사용되는 PECVD 공정에 대해 알아보겠습니다. *PECVD란? PECVD란 Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition의 약자로 Plasma를 이용하여 박막을 증착시키는 공정입니다. 그렇다면 PECVD를 알기 전에 Plasma에 대해 알아야겠죠? *Plasma란? Plasma란 물질의 4번째 상태를 말합니다. 쉽게 말해서 고체, 액체, 기체 다음의 물질 상태를 의미합니다. 좀 더 자세히 설명해 드리면 '이온화된 기체'라고 볼 수 있습니다. 이러한 4번째 상태, 즉 이온화시키기 위해서는 외부 에너지(높은 온도, 전기장 등)를 가해주어야 합니다. 높은 외부 에너지를 가해주면 이온화, 여기, 이완, 해리 등이 일어납니다. 대표적으로 이온화, 여기.. 2019. 12. 18. 이전 1 다음 반응형
