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[반도체 공정] PECVD 공정(deposition) (2) CVD 공정 중에서도 실제 많이 사용되는 PECVD 공정에 대해 알아보겠습니다. *PECVD란? PECVD란 Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition의 약자로 Plasma를 이용하여 박막을 증착시키는 공정입니다. 그렇다면 PECVD를 알기 전에 Plasma에 대해 알아야겠죠? *Plasma란? Plasma란 물질의 4번째 상태를 말합니다. 쉽게 말해서 고체, 액체, 기체 다음의 물질 상태를 의미합니다. 좀 더 자세히 설명해 드리면 '이온화된 기체'라고 볼 수 있습니다. 이러한 4번째 상태, 즉 이온화시키기 위해서는 외부 에너지(높은 온도, 전기장 등)를 가해주어야 합니다. 높은 외부 에너지를 가해주면 이온화, 여기, 이완, 해리 등이 일어납니다. 대표적으로 이온화, 여기.. 2019. 12. 18.
[반도체 공정] 박막 증착(Deposition) (1) 박막은 얇은 막을 뜻하는 데요. 기본적으로 박막증착이란 얇은 막을 쌓아 올린다고 생각하시면 됩니다. 마치 햄버거나 샌드위치를 만들기 위해서 빵 위에 양상추, 패티, 소스, 베이컨 등등을 올리는 것과 비슷합니다. (여기서 햄버거, 샌드위치 = 완성된 Device, 재료들: 박막) *박막의 제조방법박막의 제조방법으로는 크게 세 가지가 있습니다.첫 번째로 화학 기상 증착(CVD, chemical vapor deposition), 두 번째로 물리기상 증착(PVD, physical vapor deposition), 세 번째로 원자 층 박막증착(ALD, atomic layer depositon)이 있습니다. *CVD 공정먼저 CVD 공정부터 설명해 드리겠습니다.CVD 공정은 아까 말씀드렸듯이 chemical vap.. 2019. 12. 11.
MOS Capacitor란 전자공학 또는 물리, 신소재 등을 전공으로 하신 분들은 MOSFET이라는 단어를 한 번쯤은 들어보셨을 거라고 생각합니다. MOSFET에 대해 설명하기 앞서 MOS Capacitor에 대해 먼저 이야기해 보려고 하는데요. MOS Capacitor는 MOSFET을 이해하기 전에 먼저 이해하면 좋을거 같습니다. MOS는 Metal Oxide Silicon Capacitor를 의미합니다. 이것의 의미는 그냥 Metal Oxide silicon이 위에서 부터 차례대로 쌓여져 있다고 생각하시면 편하실거 같습니다. 예전에는 Metal을 사용하였지만, 어느 시점부터 Metal 대신 Poly를 사용하기 시작하였습니다. 하지만 사람들은 MOS가 입에 붙어서 그냥 MOS로 사용하고 있습니다. 위의 그림은 MOS Cap의 구.. 2019. 7. 17.
주파수영역 해석(1) 시스템을 해석하는 데 있어 두 가지 유형이 있다. 한 가지는 시간 영역에서의 해석, 두 번째는 주파수 영역에서의 해석. 시간 영역에서의 해석은 입력 신호와 임펄스 응답의 컨볼루션(convolution)으로 구할 수 있다. 다만 컨볼루션 연산은 복잡하기 때문에, 좀 더 쉽게 해석을 하기 위해 주파수 영역에서 해석을 한다. 주파수 영역에서 해석을 하기 위해 먼저 해야 할 일이 있다. 시스템의 특성을 수학적 모델링하는 것인데, 모델링이라고 해서 거창한 것이 아니라 그저 시스템 특성을 수식으로 표현하는 것이다. 예를 들어, 간단한 RC회로를 살펴보면, KVL의 전압 법칙을 사용하여 입력 전압과 출력 전압의 관계를 수식으로 표현할 수 있다. 위의 RC직렬 회로는 OR CAD로 구현을 해보았습니다. 키르히호프의 전.. 2019. 4. 29.
선형시스템(Linear System) 선형 시스템은 중첩의 원리를 따르는 시스템을 말합니다. 중첩의 원리가 무엇이냐. 중첩의 원리는 가산성(Additivity)과 비례성(Homogeneity)을 둘 다 만족시키는 것을 말합니다. 그렇다면 가산성과 비례성은 무엇이냐. 여기서 H()는 시스템의 함수이고, x(t)는 input, y(t)는 output이다. *가산성(Additivity) 만약, 위와 같은 시스템에서 입력을 x1(t)+x2(t)로 설정을 했을때 출력을 살펴보자. 출력 y(t)는 H(x1(t)+x2(t))가 될 것이다. 이 때, 가산성을 만족한다는 말은, 먼저 수식부터 살펴보자 y(t)=H(x1(t)+x2(t))=H(x1(t))+H(x2(t)) 필자도 이게 어떻다는 건지 처음엔 와 닿지 않았다. 간단히 설명하자면, 2개의 입력신호(x.. 2019. 4. 27.
파이썬 함수 파이썬에서 함수를 어떻게 만들고 또 어떻게 사용할까? 일단 먼저 간단한 함수를 살펴보겠습니다. 결론부터 말하면, 이건 덧셈 함수입니다. '+'를 보고 대충 추측했을것입니다. 맨 앞에 있는 def는 definition의 의미입니다. definition은 우리말로 '정의'라는 의미인데 함수를 만들때 사용됩니다. 그리고 def 다음 나오는 'plus'는 함수의 '이름'을 의미합니다. 꼭 'plus'가 아니더라도 본인이 원하는 이름으로 설정이 자유롭게 가능합니다. 여기서 제가 plus라고 한 이유는 좀 더 글을 읽어보면 알겠지만 함수의 내용이 '더한다'라는 의미이기 때문이다. 물론 a,b,c ...등 아무거나 해도 관계없습니다. 그 다음 (a,b)라는게 보이는데 이것은 흔히 '파라미터' 또는 '매개변수'라고들 .. 2018. 8. 31.
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